深圳市金光华净化设备有限公司
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洁净棚是为最快速方便建立的一座简易洁净室,洁净棚具备多种洁净等级及空间搭配可以根据使用需求设计制作,因此其简便运用弹性大安装容易且施工期短以及可移性为其主要特点。
洁净棚洁净度
美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5µm,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5µm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2µm(尘粒尺寸在0.2µm或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1µm(尘粒尺寸在0.1µm或更大下,密度不大于35颗/立方英)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
无尘室清洁度的定义:
尘粒数/立方英
级数 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
1 35 7.5 3 1 N/A
10 350 75 30 10 N/A
100 N/A 750 300 100 N/A
1000 N/A N/A N/A 1000 7
10000 N/A N/A N/A 10000 70
100000 N/A N/A N/A 100000 700
■洁净棚特点:
1、采用采用工业铝型材或不锈钢方通和铁方通多层酸洗静电喷塑作为框架,抗腐蚀、防锈、美观大方。。
2、防静电垂帘:0.3mm厚网格、柔韧度好、不变形、不易老化。
3、洁净室顶盖板采用准轧钢板静电喷塑或全不锈钢。
4、洁净棚内部采用净化室专用净化灯,不产尘。
5、风机滤网机组FFU:采用离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、配初效过滤器和高效空气过滤器。
6、采用可调风量系统,保证工作区风速处于理想状态。
当然洁净棚在净化工程中的应用需要洁净棚生产厂家安装配合,如在净化工程施工中的工期控制要提前去要求及管理.
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