深圳市金光华净化设备有限公司
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在大多数洁净室中粒子和纤维都是环境污染的主要来源。所以,应避免在生产工艺中使用容易破损或散发粒子的材料。其表面带有粒子和纤维的材料也应避免使用。
在半导体工业中,产品表面的化学品和空气环境中的某些气体分子可能形成的化合 物,会沉积在半导体的表面上,它们可能影响产品质量,甚至损坏半导体芯片。
在一些洁净室中,那些无法将静电不断地传导开的材料,可能会因为静电荷的积累和放电使那些对静电敏感产品会受到损坏。此外,静电还会使材料产生静电吸附效应而吸附粒子,造成污染问题。
选择用于洁净室内的生产材料,不仅仅要着眼于适合于生产工艺,而且也应关注是否有可能产生污染。显然对那些既可能构成污染,但又是生产所需的材料和物品,只有在缺之不可的情况下才能使用,或只有在已经充分认识到了这些材料产生污染的问题,并考虑了其他替代材料但又确实都不适合后,才可使用。
以下所列举的部分乃至全部物品,因其会造成洁净室的严重污染,根据产品对污染的敏感性不同,一般禁止在洁净室中使用。
1) 非洁净室专用纸,如果一定要使用普通纸,应将其放入塑料袋内或采用双面热塑;
2) 铅笔与橡皮、墨水中含有污染洁净室环境的化学品、纤维头书写笔或者会划纸的圆珠笔、修改液;
3) 用低碳钢或其他会生锈、磨蚀、氧化的材料制成的物品;
4) 用机器加工或处理时会冒烟或破损的物品;
5) 用木头、橡胶、纸张、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破损物品;
6) 研磨材料或粉末、产生气溶胶的瓶瓶罐罐。
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