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无尘车间知识

净化车间温湿度等级要求

来源:本站    发布时间:2022/7/20 10:12:08    点击量:

净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,首选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,净化车间必须达到一定的温湿度等级。

例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。净化车间净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种净化车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却(cooling)水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故,相对湿度在50%时易生锈。

然而对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压),净化车间压力差的维持一般应符合以下原则:
1.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。洁净室车间净化工作原理为当控制器接通电源时,油雾分离器口产生强大的静压迫使油雾被定向吸入油雾分离器内。在油雾分离器内风轮的作用下发生碰撞,使微小的颗粒集合成能被控制的小颗粒,在高效吸雾材料的阻挡下实现空气与水的分离。
2.相通净化车间之间的门要开向洁净度级别高的房间。
3.车间的压力要高于非洁净空间的压力。净化车间材料是净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
压力差的维持依靠新风量(定义:单位时间内空气的流通量),这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

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